다공성 세라믹 진공 척

다공성 세라믹 척은 연삭 및 다이싱 공정 중에 반도체 웨이퍼를 지지하고 척하는 데 사용되며 평탄도 및 평행도에 대한 매우 엄격한 요구 사항이 있습니다. LSTD의 강력한 R&D와 생산능력을 바탕으로 Disco, G&N, Okamoto 등의 기계에 사용되는 거의 모든 종류의 다공성 세라믹척을 제작 가능합니다.

장점:

● 높은 정밀도: 평탄도 2um 미만, 평행도 5um 미만

● 긴 수명

● 손쉬운 드레싱

● 맞춤형

웨이퍼 백 그라인딩에 주로 사용되는 다공성 세라믹 척 외에도 LSTD는 웨이퍼 가장자리 연삭, 세척, 코팅 등과 같은 특수 목적을 위한 다른 재료의 척도 설계 및 제조합니다.

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