CMP 패드 컨디셔너

패드 컨디셔너는 스톡 연마 패드와 미세 연마 패드의 컨디셔닝에 사용됩니다. 이러한 패드를 컨디셔닝하면 패드 평탄도를 잘 제어할 수 있고 패드 표면 거칠기를 최적화할 수 있으므로 연마된 웨이퍼의 형상 정밀도가 보장됩니다. 그리고 연마 효율은 컨디셔닝되지 않은 패드보다 더 안정적입니다. 종종 패드 컨디셔너를 사용하여 적절하게 드레싱하면 연마 패드의 수명이 최대 30% ~ 50%까지 연장될 수 있습니다.

패드 컨디셔너는 단면 연마 공정과 양면 연마 공정 모두에 유용합니다. 각 목적에 따라 다양한 결과가 나올 수 있는 다양한 디자인이 있으며, 어떤 디자인을 사용하든 평탄도 제어, 평행도 제어 및 다이아몬드 결합 강도 제어는 항상 타협 없이 엄격하게 실행됩니다.

싱글 사이드 패드 컨디셔너

양면 패드 컨디셔너 어셈블리

세라믹 연마포 드레싱 플레이트는 연마 패드 드레싱에도 사용됩니다. 연마 패드 사용 초기 단계에서 이 패드 드레서는 연마 패드를 드레싱하여 우수한 접착 백킹을 달성하고 연마 패드의 평탄도를 제어하는 ​​데 사용할 수 있습니다.

단면 패드 컨디셔너 어셈블리

양면 패드 컨디셔닝 캐리어

세라믹 플레이트 패드 드레서

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