기본형 화학기계연마기
기본 유형의 CP 기계는 대부분의 경우 화학 기계적 연마의 응용 요구를 충족할 수 있습니다. 장비는 미로 단일 경로 연마판 냉각 구조를 채택하여 연마 공정 중 열 방출의 균일성과 판 모양의 유지를 효과적으로 보장하여 하드웨어 측면에서 연마 정확도를 보장합니다. LSTD가 특별히 설계하고 제작한 대형 저마찰 실린더를 사용하여 가공강도와 가공정밀도를 보장합니다.
유형 및 사양 | CP-380B(V*) | CP-460B(V) | CP-610B(V) | CP-810B(V) | CP-910B(V) | CP-1280B(V) | CP-1500B(V) |
연마 플레이트 직경 | 381mm | 460 밀리미터 | 610 밀리미터 | 812 밀리미터 | 914 밀리미터 | 1282 밀리미터 | 1500 밀리미터 |
압력판 직경 | 139 밀리미터 | 150 밀리미터 | 240 밀리미터 | 304.8 밀리미터 | 360mm/355mm | 485 밀리미터 | 576 밀리미터 |
압력판 수 | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 |
연마판 RPM | 10~160rpm | 10~160분당 회전수 | 10~115분당 회전수 | 10~87rpm | 10-80RPM | 10~64분당 회전수 | 10-54RPM |
연마압력(최대) | 100kg | 100kg | 140kg | 250kg | 320kg | 560kg | 760kg |
모터 파워 | 0.75KW | 1.5kw | 3kw | 5.5KW | 11kw | 22kw | 35kw |
전원공급장치 | 3PH,380V,50Hz의 | ||||||
차원 | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
무게(대략) | 350kg | 650kg | 980kg | 1800kg | 2200kg | 7000kg | 8600KG |
웨이퍼 로딩 용량 | 2"-4개/헤드 2"-3개/헤드(V) | 2"-5개/헤드 2"-4개/헤드(V) | 2"-10개/헤드 4"-3개/헤드 | 2"-14개/헤드 4"-5개/헤드 5"-3개/헤드 | 4"-7개/헤드 5"-5개/헤드 6"-3개/헤드 | 5"-8개/헤드 6"-6개/헤드 8"-3개/헤드 | 6"-8개/헤드 8"-5개/헤드 |
*V는 진공 척을 나타냅니다.
기본 기능 연마 슬러리 공급 탱크는 기본 유형의 CP 기계와 함께 사용할 수 있으며 일부 전문 슬러리 관리 시스템도 사용할 수 있습니다. LSTD는 안정적인 연마 공정을 보장하기 위해 공급, 재순환, 필터링, 온도 안정화, PH 제어와 같은 연마 슬러리의 제어 기능을 실현하기 위해 일련의 연마 슬러리 관리 시스템을 개발했습니다.
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