CD형 화학기계연마기
압력판 중심 구동형 CP 기계는 기본형 CP 기계에서 공정 중에 4개의 플레이트를 회전시키는 압력판 중심 구동 롤러 세트를 추가하여 개발되었습니다. 이 구조는 공기 실린더의 다양한 특성과 각 헤드의 다양한 연마 마찰로 인해 발생하는 압력판의 속도 차이를 제거하여 각 헤드의 연마 결과의 일관성을 더 잘 보장할 수 있습니다. 동시에 가이드 휠의 속도를 조정할 수 있으므로 공정 요구에 따라 압력판의 속도를 조정할 수 있으며 연마 공정이 더욱 유연해집니다.
세라믹 플레이트 또는 압력 플레이트는 중앙 구동 롤러와 외부 가이드 롤러를 통해 위치됩니다. 연마판의 회전과 외부 가이드 롤러의 일치 동작을 통해 서로 다른 스테이션 간에 세라믹판을 전환할 수 있습니다. 매니퓰레이터 및 제어 시스템의 도움을 받아 자동 생산 라인을 구축하여 효율성을 높이고 비용을 절감할 수 있습니다.
웨이퍼 본딩(본딩) 방식
왁스 본딩, 연마 템플릿에 의한 고정, 진공 척을 사용한 세 가지 유형의 웨이퍼 고정 방법은 압력판 중심 구동형 CP 기계에도 적용할 수 있습니다.
안정적인 연마 공정을 얻으려면 CP 시리즈 연마 기계를 연마 슬러리 관리 시스템과 함께 사용하여 연마액의 흐름, 온도, pH 값 및 기타 지표를 제어하는 것이 좋습니다.
CD TYPE CP 시리즈 화학기계연마기
유형 및 사양 | CP-380B-CD | CP-460B-CD | CP-610B-CD | CP-810B-CD |
연마판 직경 | 381mm | 460mm | 610mm | 812mm |
압력판 직경 | 139mm | 150mm | 240mm | 304.8mm |
압력판 수 | 3 | 4 | 4 | 4 |
연마판 RPM | 10~160rpm | 10~160rpm | 10~115rpm | 10~87rpm |
연마압력(최대) | 100kg | 100kg | 140kg | 250kg |
중앙 구동 모터 동력 | 400W | 750KW | 1KW | 1.5KW |
메인 모터 전력 | 0.75kw | 1.5KW | 3kw | 5.5KW |
전원 공급 장치 | 3PH,380V,50Hz | |||
차원 | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
무게(대략) | 350kg | 690kg | 980kg | 1800kg |
웨이퍼 로딩 용량 | 2"-4개/헤드 | 2"-5개/헤드 | 2"-10개/헤드 4"-3개/헤드 | 2"-14개/헤드 4"-5개/헤드 5"-3개/헤드 |
유형 및 사양 | CP-910B-CD | CP-1280B-CD | CP-1500B-CD |
연마판 직경 | 914mm | 1282mm | 1500mm |
압력판 직경 | 360mm / 355mm | 485mm | 576mm |
압력판 수 | 4 | 4 | 4 |
연마판 RPM | 10-80rpm | 10~64rpm | 10-54rpm |
연마압력(최대) | 320kg | 560kg | 760kg |
중앙 구동 모터 동력 | 2KW | 3.5KW | 5.5KW |
메인 모터 전력 | 11kw | 22kw | 35kw |
전원 공급 장치 | 3PH,380V,50Hz | ||
차원 | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
무게(대략) | 2200kg | 7000kg | 8600kg |
웨이퍼 로딩 용량 | 4"-7개/헤드 5"-5개/헤드 6"-3개/헤드 | 5"-8개/헤드 6"-6개/헤드 8"-3개/헤드 | 6"-8개/헤드 8"5pcs/머리 |
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