MP Series Mechanical Polishing Machine
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MP 시리즈 기계 연마기

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제품 소개

LSTD MP 시리즈 기계식 연마기는 초경질 재료의 신속한 연마 요구 사항을 충족하도록 개발되었습니다. 이 장비는 특정 입자 크기의 연질 금속판 또는 복합판과 다이아몬드 슬러리를 사용하므로 가공된 공작물이 거울 표면에 빠르게 도달할 수 있습니다. 기계적 연마의 또 다른 중요한 장점은 판 모양을 잘 제어한다는 전제하에 가장자리 붕괴가 거의 없는 매우 평평한 공작물 표면을 얻을 수 있다는 것입니다. 에피텍셜을 적용한 공작물(웨이퍼)의 경우 기계적 연마 후 화학 기계적 연마 공정 시간을 크게 단축하고 비용을 절감할 수 있습니다. MP 시리즈 화학 기계 연마기는 사파이어, 탄화규소, 다이아몬드 등 다양한 초경질 반도체 웨이퍼의 기계적 연마는 물론 세라믹, 초경합금, 담금질강 등 기타 초경질 재료의 연마에도 사용할 수 있습니다.

CP 시리즈 화학 기계 연마 기계와 마찬가지로:

MP 시리즈 기계 연마기는 기본형, 압력 디스크 중심 구동형(CD 유형) 및 압력판 독립 구동형(IDP 유형)의 세 가지 동일한 모델로 나뉩니다. (4페이지 참조; MP 시리즈 기계 연마기는 CP와 구조가 유사합니다. 시리즈 화학 기계 연마 기계, 그러나 기계 연마의 요구를 충족시키기 위해 MP 시리즈 기계 연마 기계에는 플레이트 홈을 파는 연마 플레이트 터닝 시스템이 장착되어 있습니다.

IDP 유형 기계 연마기:

IDP 유형 기계 연마기는 또한 압력판의 스윙 기능을 통합하여 기계적 연마 정확도를 더욱 향상시킬 수 있습니다. LSTD는 기계적 연마에 따른 발열로 인한 연마판의 팽창 변형 및 경도 감소 문제를 해결하기 위해 판 표면 온도, 판 형상 및 판 경도를 효과적으로 제어할 수 있는 신기술을 개발하여 특허를 출원했습니다. 탄화규소, 다이아몬드, 기타 웨이퍼 등 3세대 반도체 소재의 기계적 연마에 있어 이 기술은 기계적 연마 효율성과 정확도 문제를 효과적으로 해결할 수 있습니다.

BASIC TYPE MP 시리즈 기계식 연마기

유형 및 사양	MP-380B(V*)	MP-460B(V)	MP-610B(V)	MP-810B(V)	MP-910B(V)	MP-1280B(V)	MP-1500B(V)
연마 플레이트 직경	381mm	460mm	598mm	796mm	898mm	1262mm	1480mm
압력판 직경	139mm	150mm	240mm	304.8mm	360mm/355mm	485mm	576mm
압력판 수	3	4	4	4	4	4	4
연마판 RPM	10~160rpm	10~160rpm	10~115rpm	10~87rpm	10-80rpm	10~64rpm	10-54rpm
연마압력(최대)	100kg	100kg	140kg	250kg	320kg	560kg	760kg
모터 파워	0.75kw	1.5kw	3kw	5.5KW	11kw	22kw	35kw
전원공급장치	3PH,380V,50Hz
치수	1250L 770W 1560H	1360L 850W 1650H	1550L 900W 1700H	1980L 920W 1900H	2100L 1262W 2120H	2550L 1670W 2200H	3500L 2020W 2500H
무게(대략)	420kg	720kg	1080kg	2200kg	2400kg	7300kg	9500kg
웨이퍼 로딩 용량	2"-4개/헤드 2"-3개/헤드(V)	2"-5개/헤드 2"-4개/헤드(V)	2"-10개/헤드 4"-3개/헤드	2"-14개/헤드 4"-5개/헤드 5"-3개/헤드	4"-7개/헤드 5"-5개/헤드 6"-3개/헤드	5"-8개/헤드 6"-6개/헤드 8"-3개/헤드	6"-8개/헤드 8"-5개/헤드

CD TYPE MP 시리즈 기계식 연마기

유형 및 사양	MP-380B-CD	MP-460B-CD	MP-610B-CD	MP-810B-CD
연마 플레이트 직경	381mm	460mm	598mm	796mm
압력판 직경	139mm	150mm	240mm	304.8mm
압력판 수	3	4	4	4
연마판 RPM	10~160rpm	10~160rpm	10~115rpm	10~87rpm
연마압력(최대)	100kg	100kg	140kg	250kg
중앙 구동 모터 동력	400W	750KW	1KW	1.5KW
메인 모터 전력	0.75kw	1.5KW	3kw	5.5KW
전원공급장치	3PH,380V,50Hz
치수	1250L 770W 1560H	1360L 850W 1650H	1550L 900W 1700H	1980L 920W 1900H
무게(대략)	420kg	720kg	1080kg	2200kg
웨이퍼 로딩 용량	2"-4개/헤드	2"-5개/헤드	2"-10개/헤드 4"-3개/헤드	2"-14개/헤드 4"-5개/헤드 5"-3개/헤드

유형 및 사양	MP-910B-CD	MP-1280B-CD	MP-1500B-CD
연마 플레이트 직경	898mm	1262mm	1480mm
압력판 직경	360mm / 355mm	485mm	576mm
압력판 수	4	4	4
연마판 RPM	10-80rpm	10~64rpm	10-54rpm
연마압력(최대)	320kg	560kg	760kg
중앙 구동 모터 동력	2KW	3.5KW	5.5KW
메인 모터 전력	11kw	22kw	35kw
전원공급장치	3PH,380V,50Hz
치수	2100L 1262W 2120H	2550L 1670W 2200H	3500L 2020W 2500H
무게(대략)	2400kg	7300kg	9500kg
웨이퍼 로딩 용량	4"-7개/헤드 5"-5개/헤드 6"-3개/헤드	5"-8개/헤드 6"-6개/헤드 8"-3개/헤드	6"-8개/헤드 8"5pcs/머리

IDP TYPE MP 시리즈 기계식 연마기

유형 및 사양	MP-380B-IDP	MP-460B-IDP	MP-610B-IDP	MP-810B-IDP
연마 플레이트 직경	381mm	460mm	598mm	796mm
압력판 직경	139mm	150mm	240mm	304.8mm
압력판 수	3	3	4	4
연마판 RPM	10~160rpm	10~160rpm	10~115rpm	10~87rpm
연마압력(최대)	100kg	100kg	140kg	250kg
압력판 구동 모터 전력	200W	200W	400KW	400KW
압력판 회전 속도	0~200rpm	0~200rpm	0~100rpm	0~100rpm
메인 모터 전력	0.75kw	1.5kw	3kw	5.5KW
전원공급장치	3PH,380V,50Hz
치수	950L 770W 1560H	1100L 850W 1650H	1350L 900W 1700H	1600L 920W 1900H
무게(대략)	350kg	350kg	980kg	1800kg
웨이퍼 로딩 용량	2"-4개/헤드	2"-4개/헤드	2"-10개/헤드 4"-3개/헤드	2"-14개/헤드 4"-5개/헤드 5"-3개/헤드

유형 및 사양	MP-910B-IDP	MP-1280B-IDP	MP-1500B-IDP
연마 플레이트 직경	898mm	1262mm	1480mm
압력판 직경	360mm / 355mm	485mm	576mm
압력판 수	4	4	4
연마판 RPM	10-80rpm	10~64rpm	10-54rpm
연마압력(최대)	320kg	560kg	760kg
압력판 구동 모터 전력	2KW	1KW	1.3KW
압력판 회전 속도	2KW	0~100rpm	0~100rpm
메인 모터 전력	11kw	22kw	35kw
전원공급장치	3PH,380V,50Hz
치수	1800L 1262W 2120H	2180L 1670W 2200H	2800L 2020W 2500H
무게(대략)	2200kg	7000kg	8600kg
웨이퍼 로딩 용량	4"-7개/헤드 5"-5개/헤드 6"-3개/헤드	5"-8개/헤드 6"-6개/헤드 8"-3개/헤드	6"-8개/헤드 8"5pcs/머리

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없다

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